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氣體質(zhì)量流量計(jì)全稱為質(zhì)量流量控制器，其英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，主要由：流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。質(zhì)量流量計(jì)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛用于石油化工、冶金、制藥等領(lǐng)域；比如：擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。其主要特點(diǎn)：
1、可以任意角度安裝
2、良好的線性——多段線性補(bǔ)償
3、快速的響應(yīng)速度，穩(wěn)定度高，重復(fù)性好。
4、電磁閥使用壽命≥100萬次
5、對(duì)零點(diǎn)漂移有效的控制
6、傳感器、分流器、精密元器件日本進(jìn)口
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產(chǎn)品名稱 |
氣體質(zhì)量流量計(jì) |
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流量范圍 |
(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min |
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調(diào)節(jié)閥類型 |
電磁調(diào)節(jié)閥 |
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調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) |
常閉 |
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安裝角度 |
任意 |
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流量控制范圍 |
2%～100% |
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流量測(cè)量范圍 |
0～100% |
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響應(yīng)時(shí)間 |
2s（T98，設(shè)定值的±2% F.S.） |
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工作環(huán)境溫度 |
5℃～50℃ |
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精度保證溫度 |
15℃～35℃ |
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精度 |
±1.0%F.S. |
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線性精度 |
±0.5%F.S. |
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重復(fù)性 |
±0.2%F.S. |
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工作壓差 |
～5L/min (50～300)kPa(D) |
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耐壓 |
3MPa |
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泄漏率 |
1×10-8 Pa?m3/s （He） |
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接觸氣體材料 |
316L,PTFE,Viton氟橡膠 |
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管路接頭 |
Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″ |
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供電電源 |
±15VDC(±5%) +15V＜100mA,-15V＜150mA |
+24VDC(寬電壓+11～+25V), |
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設(shè)定信號(hào) |
(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ |
4～20mA；（可定制：1～5V或0～5V） |
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流量輸出信號(hào) |
(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA |
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電氣接頭 |
D-SUB15,D-SUB9 |
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重量(kg) |
0.9 |
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