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1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)采用全彩高清觸控屏操作，簡(jiǎn)單易上手，即使是非專(zhuān)業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法，能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì)，可以較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體；另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面，可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等，尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)目
明細(xì)
供電電壓
AC220V，50Hz
MAX功率
5KW
加熱溫區(qū)
220mm+440mm+220mm
工作溫度
1100℃ （1200℃＜1h）
控溫精度
±1℃
升溫速率
建議≤10℃/min
控溫方式
AI-PID 30段工藝曲線，可存儲(chǔ)多條
三溫區(qū)獨(dú)立控制，帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)
爐管材質(zhì)
高純石英
爐管尺寸
φ60mm O.D×1300mm L
氣體通道
三通道質(zhì)量流量計(jì)
氣體量程
A：100sccm B：300sccm C：500sccm
系統(tǒng)真空
5~10Pa（如需更高真空度可以選配其他的泵）
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