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設備配有三支磁控靶，兩套直流電源，可用于鍍多層導電金屬膜。同時設備具有主腔室和過渡艙兩部分，過渡艙配有磁力推桿，兩個艙室之間裝有真空閘板閥；用戶可以在主腔室進行濺射工作的同時，在過渡艙裝填樣品，并進行真空預抽，待主腔室濺射完成后即可將樣品通過磁力推桿推入主腔室的樣品臺。這樣的設計能夠減少主腔室抽放真空的次數(shù)，不僅能有效節(jié)省時間，更能保證更好的本地真空，有效提高鍍膜質(zhì)量
三靶磁控鍍膜儀技術參數(shù)：
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項目 |
明細 |
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產(chǎn)品型號 |
CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS |
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供電電源 |
VAC 110, 60Hz |
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樣品臺 |
位置 |
下部，帶擋板 |
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直徑尺寸 |
φ150mm |
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可調(diào)轉速 |
0-20rpm 可調(diào) |
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加熱溫度 |
RT~500oC |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ325xH510mm |
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腔體材料 |
304 不銹鋼 |
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內(nèi)壁處理 |
電解拋光 |
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密封方式 |
氟橡膠密封 |
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觀察窗口 |
φ100mm（帶擋板） |
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磁控靶槍 |
數(shù)量 |
3 |
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擺頭角度 |
可調(diào)角度 -45~45 度 |
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濺射方向 |
向下濺射 |
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靶材平面 |
圓形平面靶 |
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靶材直徑 |
2英寸 |
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靶材厚度 |
*厚3mm |
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直流電源 |
數(shù)量 |
2臺 |
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電源功率 |
0~500W |
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輸出電壓 |
0～600V |
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*大輸出電流 |
1A |
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啟動時間 |
1~10S |
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射頻電源 |
數(shù)量 |
1臺 |
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電源功率 |
0~500W |
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射頻頻率 |
13.56MHz |
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匹配方式 |
自動匹配 |
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反射功率 |
≦100W |
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功率穩(wěn)定性 |
±0.1% |
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膜厚監(jiān)測儀 |
通道數(shù) |
單通道 |
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測量精度 |
0.1 ? |
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測量速度 |
100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁） |
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標準傳感器晶體 |
6MHz |
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適用晶片尺寸 |
Φ14mm |
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真空系統(tǒng) |
前級泵 |
雙極旋片泵，抽速1.1L/s |
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渦輪分子泵 |
抽速600L/s 額定轉速：27000rpm 啟動時間：≦5min 冷卻方式：水冷 |
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真空度 |
5x10-4Pa |
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真空測量 |
復合真空計，測量范圍10-5Pa ~ 105 Pa |
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過渡倉 |
腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓 配備分子泵組： 前級泵：VRD-4，抽速1.1L/s 分子泵：日本TG60F，抽速60L/s |
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水冷機 |
冷卻水流速 |
10L/min |
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整機功率 |
0.1KW |
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冷卻功率 |
50W/℃ |
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水箱容量 |
9L |
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氣體控制 |
1路質(zhì)量流量計：Ar氣，范圍0-200sccm |
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控制系統(tǒng) |
CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng) |
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